碳化硅廠 國產(chǎn)第三代半導體專用核心裝備邁進“8英寸時代”

長沙晚報7月1日訊（全媒體記者 徐運源 通訊員 張星）6月30日，2023上海國際半導體展覽會持續(xù)進行，世界各地1100多家半導體制造領域的設備及材料廠集中“亮絕活”，來自長沙的中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱“中國電科48所”）攜自主研發(fā)的集成電路、第三代半導體等領域關鍵核心專用設備亮相。作為本屆展會的一大亮點，該所率先發(fā)布自主研制、用于生產(chǎn)碳化硅外延片的國產(chǎn)8英寸碳化硅外延設備，標志著國產(chǎn)第三代半導體專用核心裝備邁進“8英寸時代”。

8英寸碳化硅外延設備上線驗證

碳化硅作為第三代半導體材料，具有耐高溫、高電壓、高頻率、高功率等優(yōu)良性能，被廣泛應用于電力、通信、光電、新能源等領域。其中，碳化硅外延片是制作碳化硅電力電子器件的關鍵材料。相較于此前生產(chǎn)的6英寸外延設備，此次發(fā)布的8英寸碳化硅外延設備生產(chǎn)出的外延片邊緣損耗更小、可利用面積更大。

“外延設備邁進‘8英寸時代’一直是產(chǎn)業(yè)聚焦的熱點之一。成熟的8英寸碳化硅技術(shù)將有效解決6英寸碳化硅晶圓芯片產(chǎn)出數(shù)量少、邊緣浪費過大的問題，單片晶圓芯片產(chǎn)出提高90%，單位芯片成本可降低近50%?！敝袊娍?8所黨委書記王平介紹。

記者了解到，中國電科48所圍繞產(chǎn)業(yè)鏈降本增效的有效路徑，聚焦國內(nèi)第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要，提前布局碳化硅廠，率先開展8英寸碳化硅外延設備關鍵技術(shù)攻關，先后解決了襯底易開裂、外延層厚度均勻性難控制等問題，滿足了大尺寸、高質(zhì)量外延生長需求，實現(xiàn)了外延裝備從6英寸到8英寸的技術(shù)迭代，目前該設備已在國內(nèi)頭部企業(yè)上線驗證。

串珠成鏈，形成碳化硅整線集成解決方案

憑借“裝備+工藝+服務”的核心優(yōu)勢，中國電科48所的“朋友圈”不斷擴大，在6英寸碳化硅外延機型方面，創(chuàng)造了國內(nèi)第三代半導體裝備行業(yè)的第一大訂單；碳化硅高溫離子注入機國內(nèi)市場占有率第一……

“我們的目標是‘串珠成鏈、以線帶面’碳化硅廠，成為國內(nèi)唯一具備提供碳化硅整線集成解決方案能力的單位?！蓖跗奖硎?，長沙正在打造全球研發(fā)中心城市，身為“國家隊”，肩扛“國家責”，中國電科48所將持續(xù)加強核心關鍵技術(shù)突破，以產(chǎn)業(yè)鏈重點環(huán)節(jié)的補鏈固鏈強鏈為己任，積極開展產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新，加快推進國家半導體裝備產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)建設，為打造全球研發(fā)中心城市貢獻“裝備力量”。

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